
净化车间,也叫洁净车间,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。洁净室的主要功能为室内污染控制,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产。净化车间被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间,其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
所谓半导体电子洁净车间,指的是洁净度在10万级标准以上的车间,主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。根据洁净度不同分为100级(小于3.5个),1000级(小于35个),10000级(小于350个),100000级(小于3500个)。
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