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净化工程知识

浅析洁净室中的防静电原理和注意事项
2018-10-08 14:52
       所谓静电,就是一种处于静止状态的电荷或者说不流动的电荷(流动的电荷就形成了电流)。当电荷聚集在某个物体上或表面时就形成了静电,而电荷分为正电荷和负电荷两种。当带静电物体接触零电位物体(接地物体)或与其有电位差的物体时都会发生电荷转移。
   在洁净室内静电导致的事故有以下几方面:
   1、静电电引起的静电电击,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒,由摔倒又致伤);
   2、静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块P- MOS电路放在塑料袋内,摇晃数次后,与非门栅极严重击穿者计39块,失效率竞达78%,这是因为半导体器件对静电放电十分灵敏;
   3.静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;
   4.静电放电的发光可导致照像肢片等感光破坏;
   5.静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞,纺纱线纷乱,印刷品深浅不均和制品污染;
   6.静电放电引起的较危险的灾害是成为可燃物的火源井引起爆炸,例如国外文献统计,在手术室使用爆炸性麻醉剂的86000次中,爆炸的36次,其中由静电引起的达21次;
   静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所有选些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因此表现为越容易带电。
   静电问题所以在洁净室中特别严重,是因为不但在洁净室中具备前述产生静电的多种工艺因素,而且因为洁净室中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有很高的电阻率,都极易产生静电和集聚静电,所以在洁净室的使用过程中中静电问题不容忽视。